这些想法无疑是预言性的, 设想的技术, 三维机器不断地制造出更小的自己, 不太可能是实际的(费曼自己也承认这一点), (1983年修改概念后).
最近微型化技术进步的一个重要因素是微机电系统(微机电系统)的发展。, 也被称为(微)机电一体化. 微机电系统由集成的微机械和微电子元件组成，采用成熟的半导体加工技术. 可以用这种方法生产的微型部件包括压力和加速度传感器, 线性致动器, 阀门, 叨纸牙, 镊子, 汽车, 齿轮火车, 涡轮机, 喷嘴, 和水泵.
微机电系统现已成为航空航天等领域的一项关键技术, 汽车, 生物医学, 以及通信行业. 微机电系统的商业应用包括用于植入式药物分配器的微流体操纵器, 航空航天用导航陀螺仪和磁光存储器, 信息技术用开关装置和显示器.
目前, 制造三维微机电系统微结构的最重要技术是体微加工, 表面微加工, LIGA(源自德语“Lithographie”), Galvanoformung, “成形”-一种涉及x射线光刻的过程, 电镀及塑料成型), 电火花加工, 基底键合.
在收集数据库中全面涵盖了微机电系统和微制造技术的各个方面. 论文可在A部分(物理)找到。, B部(电气及电子摘要), C组(计算机与控制摘要)和E组(机械与生产工程). 最重要的分类部分是:
- A0710C: 微机械装置和系统
- A4283: 微光器件与技术
- B2550: 半导体器件技术
- B2575: 微机械设备技术
- B4145: 微光器件与技术
- B7230: 传感装置和传感器
- B8340: 小型和专用电机
- B8380M: 各层
- C3240: 传感器和传感装置
- C3260: 致动装置和最终控制装置
- E1528A: 加工
- E2160: 微观力学
- E3644V: 机电一体化产业
微机电系统技术的检验控制索引术语包括:
- bio微机电系统
- 机电一体化
- micro-optomechanical设备
- 各层
- 集中
- 微流体
- 微加工
- 显微操纵器
- 微机械设备
- 微机械谐振器
- 微镜
- 纳米
- 届
- 微型机器人
- 微型传感器
- 微型开关
- micro阀门
- 纳米技术
本文中讨论的一些概念的其他相关受控索引术语有:
- 加速度计
- 汽车电子
- 电火花加工
- 电镀
- "
- 微光学
- 压力传感器
- 半导体技术
- 溅射腐蚀
- 晶圆键合
- x射线光刻技术